布魯克bruker輪廓儀

Dektak XTL™ 布魯克bruker臺階儀輪廓儀可容納高達 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復性。Dektak XTL 具有空氣振動隔離設計和全封閉工作站設計，具有易用的聯鎖門，是當今苛刻的生產車間環境的的理想之選。其雙攝像頭架構可增強空間感知能力，其高自動化水平可大限度地提高測試通量。

增強的軟件功能使 Dektak XTL 成為功能強大、容易使用的探針式輪廓儀。該系統利用 Vision64 軟件，通過數百種內置分析工具實現眾多的測量位點、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測量形狀，如曲率半徑。模式識別可大限度地減少操作員誤差并提高測量位置精度。集成化的軟件包將數據收集和分析與直觀的工作流程相結合。

Dektak XTL 以 50 布魯克bruker臺階儀輪廓儀多年的探針式輪廓儀的專業知識和生產設施的應用程序定制為基礎，以滿足當今和未來嚴格的行業路線圖。300 毫米高精度編碼 XY樣品臺為制造商提供了滿足嚴格計量研發要求的可靠工具。

Dektak 的雙攝像頭控制與高清放大雙視場相機提供增強的空間感知。實時視頻中的點擊定位使操作員能夠快速將樣品移動到正確的位置，以便快速輕松地進行測量設置和自動化編程。該系統的大型聯鎖門為樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪問。

其他硬件功能包括：

• 單拱形架構和集成振動隔離系統

• 快速更換自對齊探針

• 高精度編碼 XY 樣品臺，實現更快的自動數據收集

• N-Lite 低力，采用軟觸控技術，具有 1mm 測量范圍，可同時用于測量精密和高垂直范圍樣品