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        Diener 等離子去膠機

        簡要描述:Diener 等離子去膠機 Tetra42特點:
        便捷的觸摸屏操作界面
        專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權限分級設定
        數字及圖形化工藝參數控制及實時顯示

        • 所在城市:上海市
        • 廠商性質:代理商
        • 更新日期:2024-12-02
        • 訪  問  量:1829
        詳細介紹
        品牌其他品牌產地類別國產
        應用領域醫療衛生,環保,生物產業,農林牧漁控制方式全自動控制(自動/手動切換)
        工藝氣體O2、Ar、N2、CF4、SF6等工藝氣路1-10
        流量計MFC真空腔體鋁合金350x350x350
        真空腔體容積 42L樣品臺旋轉樣品臺
        外形尺寸W600xD850xH1700mm

        Diener 等離子去膠機 Tetra42

        特點:

        ·便捷的觸摸屏操作界面

        ·專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權限分級設定

        ·數字及圖形化工藝參數控制及實時顯示

        ·支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗

        ·安全及異常報警功能

        ·多語言:法語、英語,德語,中文

         

        Diener 等離子去膠機 Tetra42用途

        · 去除光刻膠

        · 干刻或濕刻處理前或后

        · SU-8或其他環氧基樹脂

        · MEMS制造中去除犧牲層

        · 去除光刻膠,SU-8,環氧樹脂

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